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SEMIF47--电压瞬降测试:电压瞬降通常是指:负载端电压值降到额定电压值的90%以下,并持续0.5~60cycles,在对于电力供应品质要求甚高的晶圆相关产业,一旦发生电压瞬降,不仅敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害,也会使得制程中断,而产生极大的损失。
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SEMIF47--电压瞬降测试

  电压瞬降通常是指:负载端电压值降到额定电压值的90%以下,并持续0.5~60cycles,在对于电力供应品质要求甚高的晶圆相关产业,一旦发生电压瞬降,不仅敏感的微电脑自动控制设备造成不可预期的伤害,也会使得制程中断,而产生极大的损失,为了能保护您敏感的设备能够免于电压瞬降的危害,对电力供应之可靠度与电源品质有较严格的要求,在SEMIF47-0200中规定半导体制程设备对电压瞬降的耐受时间在电压为50%标称值时为0.05秒至0.2秒、0.2秒至0.5秒间的容许电压为标称值之70%、0.5秒至1.0秒之容许电压为80%标称电压值。

  

SEMIF47测试目的

  减少或消除用电池储存装置,来达到电压突波消除的方法。即使电源系统完全故障,安全连动系统也可以动作。

  

SEMIF47测试规范

  SEMIF47测试——半导体制造业中所用的电压跌落抗扰度。

  工业用电骤升/骤降发生器规范:

  输入功率:100-480Vrms、50A连续、50-60Hz

  单相、3相Y型或Δ

  相到相/相到中性点跌落:

  跌落幅度:0%-125%,步进为2.5%

  跌落持续时间:0.1cycleto34secondsin0.1cycleincrements

  相位角同步:0-359度,步进为1度

  3-相压差:

  持续时间:0.3-34秒

  相位角同步:0-355度,步进为5度

  测量能力:

  13内部电压通道

  6内部电流通道

  3内部接地保护通道

  3+/-600V(交流或直流)外部输入

  6+/-100V(交流或直流)外部输入

  

SEMIF47测试标准

  SEMIF47

  IEC/EN61000-4-11

  IEC/EN61000-4-34

  SEMIE6(使用潮流分析软件包)

 

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